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裝備關鍵零部件表面塗層技術取得新進展
 
2020-09-17 | 文章来源:材料表面工程研究部        【 】【打印】【關閉

  我所材料表面工程研究部熊天英團隊作爲表面技術負責單位參加的國家重大專項“基于焊接和表面塗覆技術的大型鋁件制造技術開發”近日順利通過驗收。項目主要針對超低汙染及抗強腐蝕零部件的表面塗層技術需求,開展高性能純Al或Al2O3、高致密Y2O3以及Y2O3/ZrO2塗層技術攻關研究。 

  針對装备中最苛刻的等离子体辐射与强腐蚀性气体交互作用下腔体内零部件的腐蚀问题,崔新宇副研究员带领的热喷涂技术小组研发了高致密Y、Y2O3、Y/Y2O3、Y2O3/ZrO2以及SiC複合防護塗層,突破了塗層與Al合金基體結合、熱匹配性以及塗層致密性等關鍵技術難題,研制的表面高純高致密Y2O3塗層通過用戶考核驗證和應用;研制的腔體內表面Y2O3/ZrO2塗層通過用戶考核驗證和應用,實現工藝超低汙染、抗強腐蝕的技術要求,在國內首次實現批量供貨。 

  針對镀膜设备用纯Al射频基片使用温度低、寿命短的问题,王吉强副研究员带领的冷喷涂技术小组提出在Ni合金基片表面冷喷涂纯Al涂层,解决了0.2mm超薄基片表面涂层厚度均匀控制和基片反复弯曲过程中涂层易脱落等多项技术难题。开发的新型基片使用温度由300提高到400,使用壽命由1-2個月提高到6個月以上,達到國際先進水平。目前批量供貨5萬余件。 

  上述相關表面塗層技術的研發成功和應用,爲制造裝備、成套工藝和材料技術攻關提供了有力的技術支持和保障。 

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